全自動臺階儀JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

產(chǎn)品特色

納米級測試精度，標(biāo)準(zhǔn)偏差0.5nm以內(nèi)

可測樣品厚度范圍0-10mm；超出可定制

操作流程直觀，軟件緊密貼合客戶需求，上手更快

儀器結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計，安裝維護(hù)簡易快捷

大行程超平面掃描技術(shù)（行程55mm，平坦度優(yōu)于20nm）

超微壓力，恒定控制（探針壓力0.5~50mg）

大帶寬大行程，納米微動臺技術(shù)（行程80um，分辨率0.05nm，帶寬10KHz）

產(chǎn)品優(yōu)勢

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計、售后便捷、極高性價比

應(yīng)用領(lǐng)域

刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

各式薄膜等應(yīng)力測量

3D掃描成像

計劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

批量測試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等

應(yīng)用示例

18nm樣品掃描圖

68um樣品掃描圖